《硅微型惯性器件理论及应用》- 王寿荣　编著 - 读书评论

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硅微型惯性器件理论及应用

作者：王寿荣　编著

出版社：东南大学出版社

出版日期：2000年10月

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内容简介

本书系统地介绍了硅微型惯性器件的理论及应用问题。全书共7章，第1章介绍微型惯性器件的物理基础；第2章至第4章为硅微型惯性器件的原理及误差分析，第5章介绍硅微型惯性器件的制备工艺；第6章简介几种微电容测量方法及硅微型惯性仪表的测控回路；第7章为硅微型惯性器件的组合及应用。
　　本书系中国船舶工业总公司“九五”规划教材，可作为高等学校测控技术与仪器及其相关专业的研究生，本科生的教学参考书，也可供从事传感器、执行器及惯性技术研究的工程技术人员阅读。

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工业技术机械仪表工业机械零件及传动装置

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