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真空测量与控制

作者:朱武,干蜀毅 编著

出版社:合肥工业大学出版社

出版日期:2008年04月
内容简介
本书系统地介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法,介绍的主要内容有真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其他检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。
本书可作为高等学校真空技术及设备、材料科学与工程、物理学等相关专业本科生和研究生的教材,还可供从事真空获得、真空测量和真空应用的工程技术人员参考。
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