个人简介
叶志镇,男,1955年5月生于浙江温州。1987年获浙江大学光仪系工学博士学位;毕业后留校工作,1990~1992年留学美国麻省理工学院(MIT);1994年晋升为教授;1996年选为博导。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。
1988年进入浙江大学材料系,在硅材料国家重点实验室一直从事半导体薄膜教学科研工作,主要研究方向:ZnO薄膜材料制备、物性调控及光电应用;纳米薄层材料高真空CVD技术研发及应用。现兼任国家自然科学基金委信息科学部评审组成员,全国电子材料专委副主任,全国半导体与集成技术、半导体材料和半导体物理专委委员等。
围绕国家光电信息和节能技术目标,完成20余项国家与省部级科研项目。负责完成“十五”国家“973”课题和国家自然基金重点项目各1项;目前在研包括“973”课题、国家自然基金重点项目、面上基金及省部级科研项目10余项。
高真空CVD薄膜技术及应用研究取得重要成果。合作创建了国内第一台超高真空CVD设备,自主研发了超高真空CVD和高真空MOCVD两大类创新薄膜系统,发展了低温CVD工艺;研制了优质Si、SiGe和GaN等晶体薄膜材料与器件;整套技术在全国50多家大学和科研单位推广应用;3项成果先后获省部级科技二等奖,其中浙江省科技发明二等奖1项,教育部二等奖2项。
在国际上较早开展ZnO研究。1989年ZnO研究结果发表在国际期刊Appl.Opt.上;1990年“ZnO掺In透明导电薄膜”获浙江省科技三等奖。在ZnO薄膜制备、p型掺杂与LED室温电致发射紫蓝光,ZnO透明导电薄膜与低微材料可控制备及高真空CVD技术方面取得了创新成果。其中“ZnO基材料生长、p型掺杂与室温电致发光研究”获2006年浙江省科技一等奖、2007年国家自然科学二等奖;“基于纳米管、纳米线的低维结构材料可控生长与应用基础研究”获2007年浙江省科技一等奖。负责的ZnO研究工作被国家自然科学基金委评为“光电功能材料重大计划”5个亮点成果之一。
获得9项成果奖励,其中国家自然科学二等奖1项,浙江省科技一等奖2项,省部级科技二等奖3项;浙江省鉴定成果5项;授权国家发明专利36项;发表论文300多篇,被SCI收录200余篇,其中国际重要期刊.Adv.ater.、Phys.Rev.Lett.、Appl.Phys.Lett.等30余篇;论文被他引1800余次,其中SCI他引1100余次;国际大会报告40多次,其中邀请报告15次,包括美国MRS秋季大会邀请报告。
1994年被评为国家重点实验室全国先进工作者并获“金牛奖”;1995年选为浙江省“中青年学术带头人”;1996年入选教育部“跨世纪优秀人才培养计划”;1997年入选国家“百千万人才工程”;1997年享受国务院特殊津贴。2006年被聘为浙江大学求是特聘教授;2007年评为浙江省突出贡献中青年专家;2008年选为浙江省特级专家,评为浙江省优秀留学回国人员。
内容简介
本书介绍了氧化锌(ZnO)的掺杂技术、性能及其应用。全书共分七章,第一章概述了ZnO的结构、基本性质与制备方法,第二章介绍了ZnO的本征缺陷和非故意掺杂,第三至第六章分别介绍了ZnO的n型掺杂、p型掺杂、合金掺杂、稀磁掺杂等各种掺杂技术及其应用,第七章阐述了ZnO半导体器件的相关研究。
本书在内容上宽度和深度相结合,系统介绍了ZnO的基本知识,同时对ZnO研究的热点领域进行了详细而深入的探讨。本书理论和实践相结合,以作者多年的研究成果为基础,重点介绍了ZnO半导体薄膜材料的掺杂技术、物理基础及其应用,对ZnO纳米材料的相关内容也有所涉及,叙述了ZnO研究和开发应用领域的新概念、新进展、新成果和新技术。
本书可供从事半导体材料、薄膜材料、纳米材料、功能材料及其相关器件研究等领域的科研人员、工程技术人员参考,也可作为高等院校材料、物理、化学、电子等相关专业师生的参考书籍。