内容简介
铁电薄膜是一类重要的功能性薄膜材料。本书系统介绍了铁电薄膜的概念、制备方法、结构、电性能和应用。全书共分6章：第1章介绍铁电体和薄膜的概念、分类；第2章介绍溶胶一凝胶法、磁控溅射法、脉冲激光沉积法、金属有机化学气相沉积法这四种制备铁电薄膜方法的历史、原理、装置、工艺参数、优缺点；第3章介绍钙钛矿型、铌酸锂型、钨青铜型、TGS型、KDP型、罗息盐、铁电液晶、铁电聚合物几种主要结构的特点，重点在钙钛矿结构；第4章介绍电畴的概念、表征方法、类型、尺寸和极化反转；第5章介绍铁电薄膜的介电性能、压电性、热释电性、铁电性，重点在铁电性和介电性能；第6章介绍铁电薄膜的应用。
本书可供从事铁电薄膜材料及器件研究的科技人员参考，也可作为材料学、材料物理与化学、微电子学与固体电子学、凝聚态物理等专业教师和研究生的教学用书。