个人简介
徐泰然教授从中国台湾国立成功大学获得学士学位，从加拿大弗雷德溜克顿New Brunswick获得硕士学位，从加拿大蒙特利尔McGill大学获得博士学位。他的所有学位都是机械工程专业的。
他积极参加由卓越的专业团体举办的微电子封装、机械电子学、MEMS教育和微系统技术等国际、国内学术会议和论坛。他还是IEEE Transactions of MPMT and Advanced Packaging在机械电子学和MEMS封装专栏的特约编辑。
内容简介
微系统近年来迅速发展，在航天、汽车、生物技术、消费产品、国防、环境保护和安全、保障、制药，以及远程通信工业等方面都有广泛的应用。本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察，共分11章，介绍了微系统工程的发展，市场，产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计和封装等内容。
本书可作为本科生或研究生课程的教材，还可以作为专业人士及相关人员了解MEMS参考书。