内容简介
本书既注重传感器的基本原理和效应，又兼顾传感器的新发展，阐述了和传感器密切相关的传感器的主要支撑技术，如微纳技术、微细加工和传感器功能材料的一些基本概念和内容。主要内容包括：传感器特性与评价，传感器功能材料，微细加工技术，传感器的基本物理原理、效应和器件，物理传感器及主要物理量检测，化学传感器，生物传感器，传感器的集成化、智能化和网络化，传感器的系统集成，微机电系统发展的动向。
本书可供电子信息、仪器仪表、生物医学工程、测控技术、机电一体化、计算机应用等专业的本科生、研究生作为教材，也可供从事传感器研究、开发和应用的工程技术人员参考。