内容简介

本书结合作者二十多年来的工作积累和国内外最新进展，系统介绍了应用X射线衍射和散射技术表征薄膜微结构的多种基本实验装置、实验数据分析理论以及典型的薄膜微结构表征实例。全书分三篇(共16章)：第一篇基本实验装置(第1～3章)，主要介绍X射线源、X射线准直和单色化、各种探测器及薄膜X射线衍射仪和表面／界面散射装置。第二篇基本理论(第4～10章)，介绍薄膜X射线衍射和散射实验数据分析所用的相关理论，包括用于近完美多层膜和金属多层膜的X射线衍射运动学理论；用于超晶格和多量子阱的X射线衍射动力学理论；用于原子密度和晶格参数很接近的金属多层膜的X射线异常衍射精细结构理论；用于薄膜和多层膜表面与界面分析的X射线反射、漫散射理论以及掠入射衍射理论。第三篇薄膜微结构表征(第11～16章)，介绍应用X射线衍射和散射技术表征薄膜微结构的实例。
本书力图理论联系实验、深入浅出，而又不失其先进性、实用性和普适性。可供从事薄膜材料和器件研究的研究人员和工程技术人员参考，也可作为高等院校和研究院所凝聚态物理、材料科学和有关薄膜科学技术专业及相关专业的教师和研究生教学用书和参考书。