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SiGe 微电子技术

作者:徐世六 主编

出版社:国防工业出版社

出版日期:2007年09月
内容简介
本书以器件和集成电路为轴线,从基本概念到器件的原理、设计、制造和电路应用。比较全面地介绍了新近发展起来的SiGe微电子技术。全书共九章,内容涉及SiGe材料的性质、SiGe材料的制备、SiGe异质结构、SiGe异质结双极型晶体管、SiGe场效应晶体管、SiGe集成电路、SiGe器件及其电路的发展动态等,并对SiGe在光电子领域的应用作了简明的介绍。讲述简明扼要,并反映出了最新的研究成果和发展趋势。
本书可供在半导体器件、集成电路和相关领域工作的科技工作者参考,也可作为微电子技术、光电子技术、电子材料、电子元器件、电子物理、电子工程等领域大学本科生及研究生的教材。
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