内容简介
微光学是微米与纳米尺度上的光学。由于这种微结构尺度已接近或小于光波长，因此，常规光学的理论与加工技术已不适宜于微光学。本书以微光学与纳米光学理论为基础，主要阐微光学器件及系统的原理与技术，以及微光学加工与测试技术。
微光学是20世纪90年代的产物，是知识密集、前沿与先进的光学新分支，被誉为光学新技术。本书主要取材于作者近15年来承担国家相关科研的成果和部分国内外最新成果，是一本综合而成的有新理论、新技术、新方法的有实用参考价值的专业技术书。
本书适合从事应用物理、光学工程、光电工程、自动控制、先进制造和先进国防的研究人员，亦适合从事微电子技术、微电机系统、微系统、微结构的设计与制造人员，同时本书可作为，高等学校相关专业教师、研究生、高年级大学生的教材和参考书