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气相沉积应用技术

作者:王福贞,马文存 编著

出版社:机械工业出版社

出版日期:2007年01月
个人简介
王福贞,1960年毕业于北京科技大学(原北京钢铁学院)金相热处理专业,现从北京联合大学机械工程学院退休。教授,北京有突出贡献专家,享受国务院津贴专家。
从1976年至今一直从事物理气相沉积技术的工艺原理探讨、沉积技术和设备研发。先后取得活性反应离子镀膜机、空心阴极离子镀膜机、矩形平面大弧源离子镀膜机、柱形阴极电弧源、阴极电弧源离子渗金属、离子渗氮等多项成果。
1989年与闻立时院士合著《表面沉积技术》。发表论文20余篇。曾任中国真空学会薄膜委员会委员,机械工程学会耐磨、耐蚀委员会委员。
内容简介
本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖,力求紧密联系实际。
本书可供从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者、在校师生和工人阅读,也可以作为相关专业的参考书。
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