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RF MEMS 应用指南

作者:(美)瓦达,(美)文尼,(美)乔斯 著,赵海松,邹江波 译

出版社:电子工业出版社

出版日期:2005年11月
内容简介
本书主要内容包括:微机电系统和射频、MEMS材料和制造工艺、RF开关与微型继电器、MEMS电感和电容、微电机RF滤波器、微机械移相器、微机械传输线及部件、微机械天线、RF MEMS的集成与封装。
本书可供从事微制造技术的人员阅读,也可作为相关专业人员的参考用书。
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