内容简介
微机械加速度计是以IC工艺和微机械加工工艺为基础制作的MEMS器件，在军民两用领域均有广泛的应用前景。本书以作者参加“九五”、“十五”重点预研课题及清华大学“985”校级重点项目工作为基础写成。全书共分9章，主要内容包括：微机械加速度计的类型、工作原理及数学模型，电容式微机械加速度计的结构和电路，微机械加速度计的集成、误差分析、主要性能指标及测试方法，微机械加速度计的应用及进一步研究动向等。本书内容除对微机械加速度计的研究和应用有借鉴作用之外。对其他惯性仪表乃至其他MEMS器件的研究亦有参考价值，可供惯性技术领域、微机电系统领域以及各相关应用领域的科技工作者阅读。