内容简介
本书以半导体制造系统调度为研究对象，在全面分析半导体制造系统调度特点的基础上，对半导体制造系统调度中存在的问题进行了详细地解剖、分析，并对各个问题的求解方法进行了详细介绍，最后通过实例介绍了各调度问题解决方案的实际使用方法。本书在认真总结国内外20年来的半导体制造系统调度研究成果的基础上，结合作者多年在制造系统调度，特别是半导体制造系统调度领域的研究与应用成果，对复杂的半导体制造系统调度问题从理论到方法再到应用进行了全方位、系统化的论述。
本书可供从事半导体制造系统计划、调度和优化等相关领域研究工作的科研人员，自动控制、工业工程等专业研究生和教师，制造管理及微电子制造行业生产管理或工程技术人员等阅读、参考。