《微光机电系统》- （日）泽田廉士，羽根一博，日暮荣治著，李元燮译，杨厚民等校 - 读书评论

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微光机电系统

作者：（日）泽田廉士，羽根一博，日暮荣治著，李元燮译，杨厚民等校

出版社：科学出版社

出版日期：2005年01月

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内容简介

本书共由三篇构成。第1篇重点介绍微光机电系统在各领域中的应用，即光开关、反射镜阵列、衰减器、显示器、扫描仪、分光计、波长可变光学元件、执行器、可动结构体、传感与传感器等；第2篇是微光机电系统光学，主要介绍微光机电系统中应用的光学原理，即光的反射及折射、干涉、衍射，自由空间光学，光辐射压，近场光学等；第3篇主要介绍材料，制造，封装等。
本书内容新颖，技术先进，涉及的领域广泛，目前国内尚未发现此类专业书籍，具有极高的参考价值。本书可供通信、精密机械、电工电子等相关专业的技术人员参考。

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工业技术机械仪表工业机械学（机械设计基础理论）

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