内容简介
本书从统一的角度论述了应用于电子束器件、电子显微学、质谱学、微分析与表面分析、微电子工艺技术、加速器与核科学技术及电子束工艺技术等方面的现代电子光学（带电粒子光学）的共有的理论基础、分析方法与主要的最新进展。本书包括电子运动的质点动力学基础，电场与磁场研究，旋转对称系统，直轴多极场系统，电子束流的传输，束电流密度分布的演化，波动电子光学基础，扫描偏转系统，曲光轴系统与偏转分析器，自旋极化电子光学初步，飞行时间分析器与运动稳定性分析器等内容。
本书适用于物理电子学与光电子学、电子物理与离子束物理、真空物理、加速器与实验核物理技术、光电成象技术等专业的硕士与博士生使用，也可供上述领域与专业的科研人员、工程师、教师与高年级本科生参考。