内容简介
本书比较系统、全面地介绍了等离子体技术原理及其应用。全书共分l3章．包括等离子体基本性质、各种等离子体技术的装置、原理及应用的最新发展、等离子体诊断的原理及方法。等离子体应用中主要介绍等离子体表面处理，等离子体在高功率微波方面的应用，等离子体隐身，微波等离子灯等最新研究成果和应用实例。等离子体诊断主要介绍等离子体应用中常用的诊断原理、方法及应用。
本书可作高等院校等离子体、物理电子、真空技术、凝聚态物理及核技术应用等专业研究生和高年级学生的教材，也可供从事等离子体技术、微细加工技术、气体放电、高功率微波等学科领域的科研人员、工程技术人员参考。