《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础\孙以材》- 孙以材，庞冬青　编著 - 读书评论

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微电子机械加工系统(MEMS)技术基础\孙以材

作者：孙以材，庞冬青　编著

出版社：冶金工业出版社

出版日期：2009年03月

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内容简介

MEMS技术是21世纪发展的重大技术，涉及国防、航天、医疗等领域。本书以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的，阐述其功能，所依据的物理原理及定律。本书还详细介绍了电学，热学和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法。阅读本书，可以为MEMS元件的设计和制造打下较好的基础，从而可以灵活应用所学知识。
本书可供国防、航天、医疗等专业的技术人员阅读，也可供大专院校有关专业师生参考。

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工业技术电子通信微电子学、集成电路（IC）

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