《MEMS可靠性》- （日）田畑修，（日）土屋智由　著，宋竞　等译 - 读书评论

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MEMS可靠性

作者：（日）田畑修，（日）土屋智由　著，宋竞　等译

出版社：东南大学出版社

出版日期：2009年03月

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内容简介

本书是国际上MEMS可靠性领域第一本专著，共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法，包括MEMS材料的可靠性，微纳压痕仪，鼓胀测试，弯曲测试，单轴张应力测试，片上测试；第二部分论述MEMS器件的可靠性，包括压力传感器可靠性，惯性传感器可靠性，RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。内容新颖，数据充实，适合于微机电系统、微电子、光电子、传感器、通讯技术领域的高年级大学生、研究生和工程技术人员参考。

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